5月26日消息 據(jù)《數(shù)字時報》報道，臺積電首席執(zhí)行官表示，該公司7nm+ EUV已開始批量生產(chǎn)。這是臺積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV極紫外光刻技術(shù)。
今年2月，《數(shù)字時報》曾報道稱，7nm批量生產(chǎn)將在3月底開始，目前來看，它已經(jīng)被推遲了至少兩個月。此前臺積電并沒有提到第一個7nm+ EUV產(chǎn)品是什么，但有消息說，華為的麒麟985也是基于7nm+ EUV的。相比一代7nm工藝，7nm+ EUV提升20%的晶體管密度，性能提升10%以上，功耗比第一代7nm低15%。
據(jù)悉臺積電今年還將推出第二代7nm制程，明年將開始風(fēng)險生產(chǎn)6nm制程。
臺積電還表示，今年其7nm產(chǎn)能將比去年增長150%，而5nm的大規(guī)模生產(chǎn)將于2020年第一季度啟動。位于臺灣南部科技園的新工廠Fab 18已經(jīng)開始設(shè)備搬遷與安裝，將在明年投產(chǎn)時直接上馬5nm，并為未來的3nm工藝做好準(zhǔn)備。
